Термостат для чистого помещения Semistat S 4400для процессакомпактныйбез дисплея
Добавить в папку «Избранное»
Добавить к сравнению
Характеристики
- Область
- для процесса, для чистого помещения
- Конфигурация
- компактный
- Индикатор
- без дисплея
- Другие характеристики
- нагревающий, охлаждающий, циркуляционный
- Диапазон температур
МАКС.: 90 °C
(194 °F)МИН.: -20 °C
(-4 °F)
Описание
Описание продукта
Термоэлектрический процессный термостат Point-of-use (POU) для точного контроля температуры процессов в полупроводниковых и чистых помещениях. Снижает энергопотребление до 90 % по сравнению с компрессорными системами. Компактный корпус с опцией установки под полом для минимизации площади в чистой зоне. Быстрый и точный контроль температуры процесса до ±0.1 °C повышает однородность пластин (wafer-to-wafer).
Особенности
Рабочий диапазон
Технические данные (согласно DIN 12876)
Холодопроизводительность
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)
Загрузки (доступные документы)
Технический паспорт Semistat S 4400
Руководство по эксплуатации Semistat (Point of Use)
Брошюра: Semistat / Circulation and process thermostats
Технические характеристики
Термоэлектрический процессный термостат Point-of-use (POU) для точного контроля температуры процессов в полупроводниковых и чистых помещениях. Снижает энергопотребление до 90 % по сравнению с компрессорными системами. Компактный корпус с опцией установки под полом для минимизации площади в чистой зоне. Быстрый и точный контроль температуры процесса до ±0.1 °C повышает однородность пластин (wafer-to-wafer).
Особенности
- Термоэлектрический процессный термостат с низким энергопотреблением
- Тихая и низковибрационная работа благодаря технологии охлаждения без хладагента
- Не требуются фильтры или DI-компоненты
- Подключение для продувки чистым сухим воздухом (CDA) для предотвращения конденсации
- Использование перфторированных теплоносителей
- Доступна водоохлаждаемая версия
- Компактные габариты и небольшой вес
- Очень малый объем теплоносителя
- Соответствие SEMI S2 и F47
Рабочий диапазон
- Мин. рабочая температура: -20 °C
- Макс. рабочая температура: 90 °C
- Стабильность температуры: 0.1 ± K
Технические данные (согласно DIN 12876)
- Диапазон рабочих температур: -20 ... 90 °C
- Стабильность температуры: 0.1 ± K
- Мощность нагрева (мин.): 12 kW
- Мин. объем заполнения: 2.5 L
- Макс. объем заполнения: 2.8 L
- Габариты (ШxГxВ): 194 x 300 x 560 mm
- Вес: 38 kg
- Питание: подключение к PSC
- Технология охлаждения: термоэлектрическая / без хладагента (есть водоохлаждаемая версия)
- Соответствие: SEMI S2 и F47
Холодопроизводительность
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)
Загрузки (доступные документы)
Технический паспорт Semistat S 4400
Руководство по эксплуатации Semistat (Point of Use)
Брошюра: Semistat / Circulation and process thermostats
Технические характеристики
- Коммерческое наименование / модель: Semistat S 4400
- Номер детали: L003278
- Диапазон рабочих температур: -20 ... 90 °C
- Стабильность температуры: 0.1 ± K
- Мощность нагрева (мин.): 12 kW
- Объем заполнения (мин./макс.): 2.5 L / 2.8 L
- Габариты (ШxГxВ): 194 x 300 x 560 mm
- Вес: 38 kg
- Технология охлаждения: термоэлектрическая / без хладагента (также есть водоохлаждаемая версия)
- Соответствие: SEMI S2 и F47
Каталоги
Другие изделия LAUDA
Circulation and process thermostats
* Цены указаны без учета налогов, без стоимости доставки, без учета таможенных пошлин и не включают в себя дополнительные расходы, связанные с установкой или вводом в эксплуатацию. Цены являются ориентировочными и могут меняться в зависимости от страны, цен на сырьевые товары и валютных курсов.