Термостат для чистого помещения Semistat S 1200

компактныйбез дисплеянагревающий

Обзор
Термоэлектрический процессный термостат для установки в точке применения, предназначенный для точного контроля температуры в полупроводниковых и чистых помещениях. Снижает энергопотребление по сравнению с компрессорными системами и может устанавливаться под полом в месте применения для минимизации занимаемой площади помещения. Поддерживает профиль температуры процесса с точностью ±0,1 °C для повышения однородности между пластинами (wafers).

Характеристики

• Термоэлектрический процессный термостат с низким энергопотреблением
• Бесшумная, низковибрационная работа благодаря технологии охлаждения без хладагентов
• Не требует фильтров или DI‑компонентов
• Подключение для продувки чистым сухим воздухом (CDA) для предотвращения конденсации
• Использование перфторированных теплоносителей
• Доступна водоохлаждаемая версия
• Компактные размеры и малый вес для установки в точке применения
• Очень малый объём теплоносителя
• Соответствует требованиям SEMI S2 и F47

Рабочий диапазон

• Минимальная рабочая температура: −20 °C
• Максимальная рабочая температура: 90 °C
• Стабильность температуры: ±0,1 K

Охлаждающая способность (примеры)
Температура — Охлаждающая способность 50 Hz — Охлаждающая способность 60 Hz
20 °C — 1.2 kW — 1.2 kW
10 °C — 0.9 kW — 0.9 kW
0 °C — 0.6 kW — 0.6 kW
−10 °C — 0.35 kW — 0.35 kW
−20 °C — 0.08 kW — 0.08 kW

Технические данные (согласно DIN 12876)

• Диапазон рабочих температур: −20 ... 90 °C
• Стабильность температуры: ±0,1 K
• Минимальная мощность нагревателя: 3 kW
• Минимальный объём заполнения: 1 L
• Максимальный объём заполнения: 1.3 L
• Габариты (Ш×Г×В): 116 x 232 x 470 mm
• Вес: 15 kg
• Электропитание: подключение к PSC