Термостат для процесса Semistat S 2400

компактныйбез дисплеянагревающий

Описание продукта
Система управления температурой в точке применения (POU), разработанная для точного поддержания температуры процесса в полупроводниковой и лабораторной среде. Режим POU позволяет снизить энергопотребление до 90 % по сравнению с компрессорными системами и обеспечивает компактную установку близко к процессу, включая монтаж под полом для минимизации использования чистой комнаты. Быстрый и стабильный контроль до ±0,1 °C улучшает однородность между пластинами и воспроизводимость процесса.

Особенности

• Термоэлектрический процессный термостат с низким энергопотреблением
• Тихая, низковибрационная работа благодаря безхладагентной технологии охлаждения
• Отсутствие необходимости в фильтрах или DI-компонентах в системе охлаждения
• Подключение для продувки чистым сухим воздухом (CDA) для предотвращения конденсации
• Предназначен для работы с перфторированными теплоносителями
• Водяное охлаждение для стабильных тепловых характеристик
• Компактные габариты и малый вес
• Крайне малый объем теплоносителя
• Соответствует требованиям SEMI S2 и F47

Рабочий диапазон

• Мин. рабочая температура: -20 °C
• Макс. рабочая температура: 90 °C
• Стабильность температуры: ±0,1 K

Холодопроизводительность (таблица)
Температура | Холодопроизводительность 50 Hz | Холодопроизводительность 60 Hz
20 °C | 2,45 кВт | 2,45 кВт
10 °C | 1,93 кВт | 1,93 кВт
0 °C | 1,4 кВт | 1,4 кВт
-10 °C | 0,88 кВт | 0,88 кВт
-20 °C | 0,35 кВт | 0,35 кВт

Аксессуары (примеры)

• Канистра для заполнения

Технические характеристики

• Диапазон рабочей температуры: -20 ... 90 °C
• Стабильность температуры: ±0,1 K
• Мин. мощность нагревателя: 6 кВт
• Мин. объем заливки: 1,25 L
• Макс. объем заливки: 1,6 L
• Габариты (ШxГxВ): 116 x 300 x 560 мм
• Вес: 27 кг
• Масса нетто: 26,81 кг
• Электропитание: подключение к PSC