Оптическая система контроля AMI AW C-SAM® series

полностью автоматическаямедицинскойбольшая производительность

Серия AW предлагает чувствительность лучше 5 микрон и производительность примерно в два раза выше, чем у конкурирующих систем. Она оснащена сканерами без погружения, которые устраняют ложные срабатывания из-за проникновения воды DI. Серия AW автоматически обрабатывает, инспектирует и сортирует пластины на основе критериев принятия/отклонения, заданных пользователем. Она предназначена для обработки продуктов на уровне пластин, таких как датчики BSI, SOI, MEMS, светодиоды, чипы на пластине и неотполированные пластины, изготовленные различными методами, включая прямое слияние, анодное, стеклянное фриттовое и эпоксидное соединение. - **Техники прямого соединения**: Производительность может быть значительно улучшена за счет инспекции на трех стадиях производства — после начального соединения силами Ван-дер-Ваальса, после отжига и после утончения. - **Устройства MEMS**: Качество уплотнений полостей можно проверить до разделения. - **Сырые и неотполированные пластины**: Обнаружение естественных пустот, вызывающих "игольчатые отверстия" в процессе дальнейшей обработки. - **Светодиоды**: Автоматически проверяет соединение слоев на основе каждого кристалла и сортирует дефектные и подозрительные кристаллы. Серия AW использует собственные высокочастотные акустические линзы Nordson TEST & INSPECTION для получения детализированных изображений. Специальные линзы необходимы, так как такие материалы, как кремний, сапфир, стекло и GaAs, могут быть очень прозрачными для ультразвука. Деламинация с разделением до 200Å может быть обнаружена. Серия AW300 обеспечивает полностью автоматизированную инспекцию, соответствует стандартам SECS/GEM и может быть настроена в соответствии с вашими требованиями. **Особенности** - Водопадный преобразователь для сканирования без погружения минимизирует риск загрязнения и ложных указаний на соединение. - Двойные загрузочные порты (опционально) для большей емкости партии с загрузочными портами для носителей FOUP или FSOB 300 мм, SMIF 200 мм и кассет от 100 мм до 200 мм. - Автоматизированное программное обеспечение для анализа точно определяет процент соединения, размер и количество пустот, открытые уплотнения полостей и минимальную ширину уплотнения, с автоматическим принятием/подозрением/отклонением на основе пользовательских критериев. - Импульсный передатчик/приемник с полосой пропускания 500 МГц и ультравысокочастотные преобразователи для получения превосходных изображений. - Доступны варианты чистых помещений класса 1000 и класса 100.