JED-2300 Analysis Station Plus, система EDS для проведения элементного анализа путем обнаружения характерных рентгеновских лучей, генерируемых образцом, была разработана на основе концепции дизайна "Бесшовный процесс от наблюдения до анализа" с использованием многолетнего опыта компании JEOL в области электронной оптики и EDS.
Эта система EDS полностью интегрирована с нашими SEM, FIB-SEM и TEM для комплексного управления данными (изображениями с микроскопа и рентгеновскими данными) с простым и понятным пользовательским интерфейсом.
Для систем FIB-SEM, оснащенных приводными ступенями, управление данными на больших площадях облегчается благодаря визуализации операций, например, изображений микроскопа с разным увеличением или разным положением ступени, а также расположения карт элементов.
♦ Значки операций
Значки расположены слева направо и указывают пользователю на каждый этап сбора данных. Кроме того, для наглядности отображаются функции каждого значка.
♦ Отображение изображений с индексами
Оператор может быстро получить доступ к полученным данным с помощью индексированного дисплея изображений.
♦ Список данных анализа
Изображения и результаты анализа автоматически сохраняются в одной папке для быстрого доступа. Когда оператор выбирает любую область на индексированном экране изображения, данные для соответствующих областей отображаются в списке данных анализа, что упрощает управление данными.
Форма пиков рентгеновских линий Bi отличается между полученным спектром (розовый) и рассчитанным спектром (синий).
Повторное исследование положения пика Bi показало присутствие Pb. Когда Pb был добавлен к результатам анализа, формы двух пиков совпали. Этот результат подтвердил наличие Pb в образце.
---