В системе STEM достигается пространственное разрешение 0,078 нм в сочетании с широкими возможностями наклона образца и детектором (детекторами) EDX с большим телесным углом — и все это в конфигурации с одним объективом.
Модель HF5000 основана на особенностях специализированного STEM-микроскопа Hitachi HD-2700, включая собственный полностью автоматизированный корректор аберраций Hitachi, симметричный двойной SDD-детектор EDX и визуализацию SE с Cs-коррекцией. Она также включает в себя передовые технологии TEM/STEM, разработанные в серии HF.
Интеграция этих накопленных технологий в новую платформу TEM/STEM с напряжением 200 кВ позволила создать прибор, обладающий оптимальным сочетанием визуализации и анализа с разрешением менее одного ангстрема, а также гибкостью и уникальными возможностями для проведения самых передовых исследований.
Особенности
Полностью автоматизированный корректор сферической аберрации с формирующим зондом от Hitachi
Высокояркостная и высокостабильная холодная электронная пушка FE (Cold FEG)
Сверхстабильные колонна и источники питания для повышения производительности прибора
Возможность одновременной визуализации SEM и STEM с Cs-коррекцией и атомным разрешением
Новый высокостабильный столик для образцов с боковым доступом и держатели образцов
Симметрично расположенные двойные детекторы EDX* площадью 100 мм²: «Symmetrical Dual SDD*»
Новый корпус, разработанный для обеспечения оптимальной производительности в реальных лабораторных условиях
Широкий ассортимент передовых держателей образцов Hitachi*
Холодный FEG высокой яркости × Высокая стабильность × Автоматический корректор аберраций Hitachi
Новый высокостабильный холодный FEG использует полностью переработанную версию давно зарекомендовавшей себя технологии холодного полевого электронного источника компании Hitachi.
Общая стабильность системы также была оптимизирована для получения изображений с разрешением менее одного ангстрема. Колонна, источники питания
---