Микроскоп CFE-SEM SU8600

для исследований3Dнапольный

Модель SU8600 открывает новую эру сканирующих электронных микроскопов сверхвысокого разрешения с холодным полевым эмиссионным источником в традиционной линейке электронных микроскопов Hitachi. Эта революционная платформа CFE-SEM сочетает в себе многофункциональные возможности визуализации, автоматизацию, повышенную стабильность системы, эффективные рабочие процессы для пользователей любого уровня подготовки и многое другое. Особенности Электронная оптика и детекторы Основная технология (электронный источник с холодной полевой эмиссией) С момента создания электронного источника с холодной полевой эмиссией (CFE) в 1972 году компания Hitachi High Tech постоянно совершенствует эту выдающуюся технологию для получения электронных изображений высокого разрешения. Последние разработки в области конструкции электронных пушек обеспечивают более высокую стабильность облучения электронным пучком в области высокой яркости. Модель SU8600 позволяет получать изображения с высоким соотношением сигнал/шум даже при низких ускоряющих напряжениях, а также может использоваться для длительных измерений и анализов в условиях облучения с большим током, не уступая другим доступным технологиям электронных пушек. Основная технология (ExB) Эффективная детектировка вторичных электронов (SE) без изменения траектории первичных электронов становится возможной благодаря формированию взаимно ортогональных электрического и магнитного полей (поля ExB) над объективом. Эта ключевая технология позволяет получать изображения с превосходным соотношением сигнал/шум и контрастом даже при минимальных значениях тока зонда, которые часто используются для визуализации с высоким разрешением. Основная технология (SuperExB) Усовершенствование конструкции, обеспечивающее функцию смешивания сигналов SuperExB, является одной из фирменных технологий компании Hitachi High-Tech. Электроны (вторичные электроны, SE, или обратнорассеянные электроны, BSE)