Микроскоп SEM SU8600

с автоэлектронной эмиссией с помощью разверткидля лабораторий3D

Модель SU8600 открывает новую эру сканирующих электронных микроскопов со сверхвысоким разрешением с холодной полевой эмиссией в давно известном модельном ряду Hitachi EM. Эта революционная платформа CFE-SEM включает в себя многостороннюю визуализацию, автоматизацию, повышенную стабильность системы, эффективные рабочие процессы для пользователей с любым уровнем опыта и многое другое. Сверхвысокое разрешение Высокояркий источник эмиссии холодного поля Hitachi обеспечивает получение изображений со сверхвысоким разрешением даже при сверхнизком напряжении. Интеллектуальная система обнаружения для низковольтной BSE-визуализации Изображение поперечного сечения 3D NAND; Оксидный и нитридный слои конденсатора легко различимы на изображении благодаря возможности обнаружения BSE. Быстрое BSE-изображение: новый кристалл типа BSED (OCD) с выносным столбцом Время получения изображения, полученного с помощью новой системы BSED (OCD)*, составило менее ОДНОЙ СЕКУНДЫ, при этом хорошо видны межслойные соединения нижнего уровня и структура Fin FET в SRAM. Расширение возможностей пользователя благодаря усовершенствованной автоматизации Программная опция "EM Flow Creator" позволяет пользователям настраивать повторяющиеся последовательности операций РЭМ. Различные функции РЭМ могут быть собраны в окне программы EM Flow Creator методом перетаскивания и затем сохранены в виде рецепта для последующего использования. После настройки рецепта автоматический сбор данных в заданных условиях может быть выполнен с высокой точностью и повторяемостью. Гибкий интерфейс Конфигурация с двумя мониторами обеспечивает гибкое и высокоэффективное рабочее пространство. Одновременное отображение и сохранение 6 сигналов позволяет получить больше информации за меньшее время.