Плазменные системы Nano могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Nano. Плазменные системы Nano используются преимущественно в следующих областях:
Аналитика, археология, автомобилестроение, отделы исследований и разработок, полупроводниковая техника, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская техника, микросистемная техника, сенсорная техника, стерилизация, текстильные технологии
Базовое оснащение
Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
Объем камеры: 18 - 36 литров (в зависимости от версии)
Электропитание: 230 В для настольного устройства, 400 В / 3 фазы для напольного устройства
Подача газа
Игольчатые клапаны
Mass-Flow-Controller (MFCs)
Вакуумные камеры
Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 267 мм, длина 420 мм или 600 мм)
Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 240 мм x В 240 мм x Г 420 мм или 600 мм)
Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 240 мм x 240 мм, длина 420 мм или 600 мм)
Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 240 мм, длина 400 мм или 600 мм)
Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 240 мм, длина 400 мм или 600 мм)