Плазменная система очистки поверхности Pico

полуавтоматическаямедицинской

Плазменные установки Pico могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Pico. Системы Pico используются преимущественно в следующих областях: Аналитика (REM, TEM) Археология Автомобилестроение Отделы исследований и разработок Полупроводниковая техника Мелкосерийное производство Технология пластмасс Медицинская техника Микросистемная техника Сенсорная техника Стерилизация Текстильные технологии Базовое оснащение Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций Объем камеры: 4 - 15 литров (в зависимости от версии) Электропитание: 230 В для настольного устройства, 400 В / 3 фазы для напольного устройства Подача газа Игольчатые клапаны Mass-Flow-Controller (MFCs) Вакуумные камеры Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 150 мм, длина 320 мм или 600 мм) Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 160 мм x В 160 мм x Г 325 мм или 600 мм) Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 160 мм x 160 мм , длина 325 мм или 600 мм) Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм) Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 130 мм, длина 300 мм или 600 мм) Загрузка Носители материала (опция: водяное охлаждение), лодочки из кварцевого стекла, вращающиеся барабаны для порошка, вращающиеся барабаны для насыпных материалов, алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное или кварцевое стекло Электроды Одно- или многоярусные RIE