Плазменные системы Femto могут комбинироваться в различных вариантах по типу модульной системы. Ниже приводится описание самых распространенных опций в сочетании с плазменными системами Femto. Плазменные системы Femto используются преимущественно в следующих областях:
Аналитика, археология, автомобилестроение, отделы исследований и разработок, полупроводниковая техника, мелкосерийное производство, технология пластмасс, медицинская техника, микросистемная техника, сенсорная техника, стерилизация, текстильные технологии
Базовое оснащение
Исполнение корпуса варьируется в зависимости от компонентов/опций
Объем камеры: 1,9 - 6 литров (в зависимости от версии)
Электропитание: 230 В для настольных устройств, 400 В / 3 фазы для напольных устройств
Вакуумные камеры
Высококачественная сталь, круглая форма, с крышкой (прибл. ∅ 100 мм, длина 278 мм или длина 600 мм)
Высококачественная сталь, прямоугольная форма, дверца на петлях (Ш 103 x Г 285 x В 103)
Алюминий, прямоугольная форма, дверца на петлях (прибл. ∅ 103 мм x 103 мм, длина 280 мм или 600 мм)
Кварцевое стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)
Боросиликатное стекло (UHP), круглая форма с крышкой или дверцей на петлях (прибл. ∅ 95 мм, длина 280 мм или 600 мм)
Загрузка
Носители материала (опция: водяное охлаждение)
Лодочки из кварцевого стекла
Вращающиеся барабаны для порошка
Вращающиеся барабаны для насыпных материалов
Алюминиевые листы
Листы из нержавеющей стали
Боросиликатное стекло
Кварцевое стекло