Плазменная установка Yocto III используется преимущественно в следующих областях: активация, очистка
Базовое оснащение
Электропитание: 230 В
Подача газа
Технологический газ через фильтр
Расход через клапан (нерегулируемый)
Подача воздуха через фильтр
Вакуумные камеры
Боросиликатное стекло (UHP), круглая камера с крышкой (прибл. ∅ 50 мм, длина 150 мм)
Электроды
Одна пара электродов за пределами вакуумной камеры
Системы управления
Генератор для плазмы
Двухступенчатый переключатель
Кнопка пуска
Сетевой выключатель
Генераторы
Частоты: 100 кГц: мощность 0 - 30 Вт
Вакуумный насос
Встроен в корпус
Безмасляный
Производительность всасывания 0,75 м3/ч