Компактный толщиномер пленки - это спектрофотометрический измеритель толщины пленки с отражением, использующий небольшой отражающий зонд и применимый в любых ситуациях - от лабораторного уровня до поточного 100% контроля в производственном процессе. Он обладает отличной ремонтопригодностью и может быть использован для встраивания в технологическое оборудование и управления линией.
Возможно одновременное измерение до 9 типов прозрачных пленок.
Он может использоваться в качестве поточного или конечного монитора для различных многослойных пленочных процессов.
Компактный датчик может быть установлен в небольшом пространстве внутри технологического оборудования. Также возможно определить соотношение смеси в смешанном слое или кристалличность поликремния с помощью теории EMA.
Компактный датчик с оптическим волокном
может быть установлен в небольшом пространстве внутри технологического инструмента.
Хорошая повторяемость измерения толщины пленки 0,1 нм(3a)
Измерение толщины многослойной пленки до 9 слоев
Функция анализа материала
- Оценка коэффициента смешивания композитного материала с помощью EMA
- Кристалличность и анализ оптических констант
Беспроводная связь (опция)
Программное обеспечение для определения конечной точки толщины пленки входит в комплект поставки
Автоматический этап картирования (опция)
Рекомендуемые системные требования
Комнатная температура - : от 18 до 45 ℃
Длительный срок - : < ±2.0℃/24 часа
Краткосрочные - : < ±1.0℃/1час
Влажность - : 45±20% (при отсутствии конденсата)
---