Монитор толщины пленки - это метрологический инструмент, позволяющий визуализировать распределение толщины прозрачной многослойной пленки.
Он может визуализировать распределение толщины пленки с разрешением 0,1 нм с помощью спектроскопической рефлектометрии.
Визуализация равномерности толщины пленки
Измерьте толщину/качество пленки в поле зрения микроскопа, покажите 3D-распределение
Разрешение по толщине пленки : <0,1 нм
Хорошее разрешение по толщине, эквивалентное спектрометрическим инструментам.
Длина волны может быть выбрана от 450 до 750 нм с точностью до 1 нм.
Высокая скорость / Многослойное измерение до 9 слоев
Параллельная обработка с помощью спектроскопической рефлектометрии
Передовые приложения
① Несколько сотен повторяющихся пленок, таких как полосовые интерференционные фильтры, и составные многослойные пленки, такие как траншейная структура
② Оценка плотности субмикронного рисунка с помощью приближения эффективной среды (EMA)
③ Оценка кристалличности локальной области, например, лазерный отжиг
Измерение распределения толщины пленки в заданной области объективного поля зрения.
Измерьте область 6,6x8,8 мм□ с помощью 1x-объектива.
Измерение пространственного разрешения 0,5 мкм с помощью 50-кратного объектива.
---