M20 - это мембранный клапан для применения в системах HP и UHP. Его беспружинная конструкция обеспечивает высочайший уровень чистоты газа. M20 предназначен для низкого давления до 15 бар. На выбор предлагаются два варианта привода: многооборотный маховик или пневматический привод.
Ключевые преимущества
проведено 100% испытание на герметичность гелием
Доступны размеры от 3/4" до 1" для поддержки широкого диапазона соединений
Сборка, тестирование и упаковка в чистом помещении: Класс ISO 4
Индивидуальный серийный номер для полной прослеживаемости
Электрополированная шероховатость поверхности в соответствии с SEMI F19 UHP Grade
Отличная продуваемость благодаря опциональным продувочным портам
Материал седла для конкретных жидкостей в качестве стандартных опций
Сменное седло
Материал UHP - опция Semi F20
Технические характеристики
Макс. рабочее давление См. таблицу выше
Давление открытия пневматического привода 5 - 7 бар
Диапазон температур См. таблицу выше
Пропускная способность (cv) 3,5
Номинальный диаметр седла 20 мм (0,79")
Давление разрыва >700 бар (10152 psig)
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия через седло (при макс. давлении) ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия внутрь (при макс. давлении) ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия за борт ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
---