M20 - это мембранный клапан для применения в системах HP и UHP. Его беспружинная конструкция сохраняет высочайший уровень чистоты газа. M20 предназначен для низкого давления до 15 бар. На выбор предлагается два варианта привода: многооборотный маховик или пневматический привод.
Ключевые преимущества
проведено 100% испытаний на утечку гелия
Доступны размеры от 3/4" до 1" для поддержки широкого диапазона соединений
Сборка, тестирование и упаковка в чистом помещении: Класс ISO 4
Индивидуальный серийный номер для полной прослеживаемости
Электрополированная шероховатость поверхности в соответствии с SEMI F19 UHP Grade
доступна опция двойного плавления нержавеющей стали 316L VAR® в соответствии с SEMI F20
Отличная продуваемость благодаря опциональным продувочным отверстиям
Материал седла для конкретных жидкостей в качестве стандартных опций
Сменное седло
Технические характеристики
Давление открытия пневматического привода от 5 до 7 бар
Пропускная способность (cv) 3,5
Номинальный диаметр седла 20 мм
Номинальный диаметр седла > 700 бар
Давление разрыва ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия наружу ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия через седло (при макс. давлении) - ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия внутрь (при макс. давлении) ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
---