Передовые микроэлектронные процессы требуют очень чистых технологических химикатов, которые проходят жесткую фильтрацию и регулируются до размера частиц 20 нм или ниже. Счетчик химических частиц Chem 20 от компании Particle Measuring Systems (PMS), чувствительный к частицам размером 20 нм, поддерживает Международную дорожную карту для устройств и систем (IRDS) и широкий спектр химических веществ.
Обширные данные о системах распределения и упаковки химических веществ доказывают, что счетчик химических частиц Chem 20 с чувствительностью 20 нм обнаруживает большие концентрации частиц с лучшей статистикой, чем конкурирующие продукты. Счетчик химических частиц Chem 20 является ценным инструментом, позволяющим инженерам предприятий и технологических процессов быстро обнаруживать и характеризовать источники химических частиц до того, как они повлияют на производительность процессов и устройств. Поддерживая мониторинг в режиме онлайн и на основе образцов, счетчик частиц Chem 20 обеспечивает гибкий мониторинг от входного контроля качества до точки использования.
Характеристики продукта
Преодоление фонового рассеяния
Лазерная безопасность
Определение пузырьков в потоке пробы
Работа с уменьшением потока пробы
Обнаружение утечек
Получение стабильных и воспроизводимых данных
Детали продукта
Мы меняем подход к мониторингу критически важных сред на фабриках.
Узнайте больше о лучшей в отрасли чувствительности для мониторинга воздуха, газа, воды, химических веществ и молекулярных загрязнений, переносимых по воздуху.
И все это в одном месте. Только от компании Particle Measuring Systems.
---