Спектроскопический эллипсометр Smart SE

Smart SE от HORIBA Scientific - это универсальный спектроскопический эллипсометр для быстрых и точных измерений тонких пленок. Он характеризует толщину тонкой пленки от нескольких ангстремов до 20 мкм, оптические константы (n,k) и свойства структуры тонкой пленки (такие как шероховатость, оптические градиентные и анизотропные слои и т.д.). Спектральный диапазон от 450 до 1000 нм измеряется за несколько секунд, а эллипсометрические данные анализируются с помощью программной платформы DeltaPsi2. Программное обеспечение объединяет в себе два уровня программного обеспечения для выполнения как рутинного анализа с заранее заданными рецептами, так и расширенного анализа с современным эллипсометрическим моделированием. Эллипсометр Smart SE - это экономичный инструмент для исследований тонких пленок без компромиссов в отношении характеристик, обеспечивающий производительность исследовательского уровня по экономичной цене. Он оснащен встроенной системой технического зрения для точного позиционирования пятен, семью автоматизированными микропятнами размером до нескольких десятков микрон для измерения мелких деталей, а также возможностью измерения полной 16-элементной матрицы Мюллера всего за несколько секунд для изучения сложных образцов. Гибкая конструкция Smart SE позволяет полностью автоматизировать работу с этапом образца и гониометром, а также использовать прибор в технологических камерах. Он соответствует любым условиям и бюджету для широкого спектра областей применения, включая микроэлектронику, фотовольтаику, дисплеи, оптические покрытия, обработку поверхности и органические соединения. ОСОБЕННОСТИ Быстрота и точность Легко модернизируемый Визуализация точечного образца Стандартные конфигурации Диапазон спектров: - 450 нм - 1000 нм Разрешение спектра - лучше 3 нм Источник света - комбинированный галогенный и синий светодиод Время измерения - от <1 секунды до 10 секунд