Спектроскопический эллипсометр Auto SE

для исследований

Auto SE - это новый инструмент для измерения тонких пленок, который позволяет проводить полный автоматический анализ образцов тонких пленок с помощью простого кнопочного управления. Анализ образца занимает всего несколько секунд и позволяет получить полный отчет, полностью описывающий тонкую пленку, включая толщину пленки, оптические константы, шероховатость поверхности и неоднородности пленки. Auto SE - это многофункциональный прибор, включающий автоматический XYZ-штатив, визуализацию места измерения в реальном времени и автоматический выбор размера пятна. Доступно множество аксессуаров для решения широкого спектра задач. В Auto SE встроены диагностические индикаторы для автоматического обнаружения и диагностики проблем, а также всестороннее руководство для оператора по устранению неисправностей. Auto SE отличается простотой использования и многочисленными автоматическими функциями, что делает его готовым прибором, идеально подходящим для рутинных измерений тонких пленок и контроля качества устройств. ОСОБЕННОСТИ Анализ тонких пленок упрощается благодаря автоматическим процедурам Многофункциональная система Видение образца Микроспот размером до 25x60 мкм Большой выбор аксессуаров ПРИМЕНЕНИЯ Спектральный диапазон: 440-1000 нм Размеры пятна: автоматический выбор 500x500 мкм; 250x500 мкм; 250x250 мкм; 70x250 мкм; 100x100 мкм; 50x60 мкм; 25x60 мкм Детекция: CCD - Разрешение: 2 нм ступень для образца: вакуумные патроны, высота по оси z 40 мм Просмотр образца: ПЗС-камера - Поле зрения: 1.33x1 мм - Разрешение: 10 мкм Гониометр: Фиксированный на 70° - Возможна установка на 66° и 61,5° Многочисленные аксессуары Время измерения: <2 с, типичное время 5 с Точность: NIST 100 нм d ± 4Å, n(632.8 нм) ± 0.002 Повторяемость: NIST 15 нм ± 0,2 Å