Автоматическое устройство подготовки проб IM4000 II

для SEMдля охлажденияионно-лучевое фрезерование

IM4000 II - это модульная аргонно-ионная полировальная система с компьютерным управлением, которая может быть оснащена как чисто поверхностный полировальник, как полировальник поперечного сечения или как гибридная система, в зависимости от требуемой функциональности. Благодаря энергии пучка, выбираемой с шагом 100 эВ от 0,1 кэВ до 6,0 кэВ, можно решать широкий спектр задач, от тончайшей полировки до полировки больших сечений. При работе в поперечном сечении IM4000 II достигает максимальной скорости удаления Si 500 мкм/час (6 кэВ, выступ за край маски 100 мкм, колебания столика ±30°). Доступны такие функции, как автоматический запуск/выбор времени, интервальная полировка или двухэтапные процессы. В IM4000 II-CTC предусмотрена возможность работы при температурах до -100°C в поперечном сечении. Особенности продукта: - Единая, надежная и удобная в обслуживании ионная пушка типа Penning с независимым управлением током пучка и ускоряющим напряжением. Позволяет получать интенсивные ионные пучки при любом ускоряющем напряжении (0-6 кВ) - Глубина поперечного сечения в Si с выступом над маской 100 мкм, колебания ступени +/-30°, составляет 500 мкм в час или более - Полировка поверхности может осуществляться при углах наклона от 0° до 90°, угол может быть изменен во время процесса - Большая камера для образцов с полностью выдвижным многоосевым столиком, прикрепленным к двери камеры для размещения различных прикладных модулей