RX3000 - это одноступенчатый мембранный регулятор давления для применения в системах HP и UHP. Первый в своем роде безрезьбовой и беспружинный регулятор давления для высочайшего уровня чистоты.
Ключевые преимущества
Уникальная безрезьбовая конструкция во всех исполнениях для обеспечения более высокого уровня чистоты
Беспружинная конструкция для версии со связанной мембраной
Доступен вариант для субатмосферных условий
Оптимизированный эффект давления питания и превосходная стабильность потока
Продолжительность срока службы в соответствии с CGA E4
Вакуум до 240 бар (3500 фунтов на кв. дюйм) на входе
Сборка, тестирование и упаковка в чистом помещении: Класс ISO 4
Индивидуальный серийный номер для полной прослеживаемости
Электрополированная шероховатость поверхности согласно SEMI F19 Класс UHP
316L VA
---