RX3000 - это одноступенчатый регулятор давления со свободной мембраной, специально разработанный для применения в системах высокой и сверхвысокой чистоты. Его одноступенчатая конструкция обеспечивает превосходную стабильность потока, а безрезьбовая конструкция гарантирует высочайший уровень чистоты.
Ключевые преимущества
Уникальная безрезьбовая конструкция во всех исполнениях для обеспечения высокого уровня чистоты
Оптимизированный эффект давления подачи и превосходная стабильность потока
Срок службы в соответствии с CGA E4
Сборка, тестирование и упаковка в чистом помещении: Класс ISO 4
Индивидуальный серийный номер для полной прослеживаемости
Электрополированная поверхность в соответствии с SEMI F19 UHP Grade
Материал UHP - возможен вариант Semi F20
Технические характеристики
Диапазон температур от -20°C до +65°C (от -4°F до +149°F)
Тип регулятора Свободная мембрана
Давление разрыва 300% от рабочего давления
Пробное давление 150% от рабочего давления
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия внутрь (при максимальном давлении) ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия через седло (при максимальном давлении) - ≤ 1 x 10-8 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия через седло ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
---