Счетчик частиц с конденсацией NanoAir™ 10

для чистых помещенийдля фармацевтической промышленностидля процесса

Получайте информацию из любой точки сверхчистой среды с помощью этого специально разработанного счетчика частиц конденсата размером 10 нм. Увеличьте время работы и повысьте производительность. Мониторинг внутри полупроводниковых технологических инструментов с помощью самого компактного на рынке форм-фактора Отмеченный пункт Непрерывный, не требующий обслуживания мониторинг в течение 12 месяцев с непрерывными измерениями 24/7. Отмечено галочкой Лучшая частота ложных срабатываний среди всех CPC, предназначенных для сверхчистого мониторинга окружающей среды Детали продукта Сократите загрязнение и повысьте производительность там, где это важнее всего, с помощью нашего революционного счетчика конденсационных частиц (CPC) NanoAir™ 10. Доступен мониторинг коллектора Это единственная система коллекторов, разработанная для поддержки транспортировки и доставки наночастиц. Сопутствующий 10-портовый коллектор (ParticleSeeker™) поддерживает приложения, в которых требуется последовательный или запрограммированный мониторинг нескольких мест расположения образцов. 10-портовая система коллекторов позволяет охватить всю EFEM/минисреду с помощью одного CPC. С помощью системы коллекторов достигается покрытие 120 квадратных футов. Время перехода от порта к порту составляет всего 0,1 секунды, а перекрестные помехи сведены к минимуму. Коллектор поддерживает различные режимы работы для: квалификации инструмента отслеживание пути/процесса автоматическое реагирование на события на интегрированной фабрике отслеживание пластин в технологических инструментах на 83% меньший форм-фактор Контролируйте любое место в чистой среде, в том числе внутри полупроводниковых технологических инструментов и фронтальных модулей оборудования (EFEM), поскольку этот CPC на 83% меньше, чем счетчики конкурентов. Удобный доступ к данным Быстро просматривайте, анализируйте и составляйте отчеты с помощью нашего программного обеспечения для мониторинга частиц FacilityNet