Конденсационный счетчик частиц NanoAir™ 10 (CPC) - это революционно новый продукт компании Particle Measuring Systems (PMS). Он обеспечивает чувствительность CPC при простоте использования и функциональности традиционного счетчика частиц для чистых помещений. Разработанный для контроля сверхчистых сред, он обеспечивает чувствительность обнаружения 10 нм при скорости потока образца 2,8 л/мин (0,1 CFM).
Размеры NanoAir 10 на 83% меньше, чем у конкурирующих продуктов, что делает его практичным для использования в любом месте в сверхчистых средах, в том числе внутри полупроводниковых технологических инструментов и модулей передней панели оборудования (EFEM). Инновационная конструкция системы обработки рабочей жидкости, защищенная патентом, является надежной и эффективной, обеспечивая непрерывную работу 24/7, 365 дней без необходимости технического обслуживания или какого-либо вмешательства пользователя между ежегодным пополнением рабочей жидкости и калибровкой. Таким образом, сокращаются перерывы в отборе проб и сборе данных, а также время простоя инструмента.
Сопутствующий продукт - 10-портовый коллектор (ParticleSeeker™) - поддерживает приложения, в которых требуется последовательный или запрограммированный мониторинг нескольких мест отбора проб.
Кроме того, NanoAir совместим с газом высокого давления HPD-III от PMS, а данные можно просматривать, анализировать и сообщать с помощью программного обеспечения для мониторинга объектов PMS Facility Net или передавать непосредственно в сторонние системы SCADA или на входы технологических инструментов.
Подробная информация о продукте
Конденсационный счетчик частиц NanoAir™ 10 (CPC) - это революционно новый продукт от компании Particle Measuring Systems (PMS). Он обеспечивает чувствительность CPC при простоте использования и функциональности традиционного счетчика частиц для чистых помещений. Предназначен для контроля сверхчистых сред,
---