Производственная система Atomfab

Atomfab - это самая быстрая на рынке система ALD с удаленным плазменным производством. РЕШЕНИЯ ДЛЯ ВАШИХ ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ НУЖД Конкурентоспособный CoO Быстрое и простое обслуживание Отличная однородность пленки Высокое качество материала Низкий уровень повреждения подложки Ускоренное время цикла, высокая пропускная способность Кластеризуемая и автоматизированная обработка пластин ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ Технология ALD компании Atomfab предлагает точно контролируемые ультратонкие пленки для передовых приложений нанометрового масштаба с конформным покрытием чувствительных структур подложек. ПРЕИМУЩЕСТВА ПРОЦЕССА ДЛЯ ПАССИВАЦИИ СИЛОВЫХ И РАДИОЧАСТОТНЫХ УСТРОЙСТВ Гарантированная настройка процессов нашими инженерами Пожизненная поддержка дополнительных/новых процессов Малоповреждающая плазменная обработка Высококачественное осаждение с низким уровнем загрязнения пленки Низкий уровень содержания частиц Короткое время воздействия плазмы, обеспечивающее высокую производительность Предварительная обработка поверхности плазмой ПРЕИМУЩЕСТВА ПЛАЗМЕННОГО АЛД для GaN, силовых и радиочастотных устройств Предварительная плазменная обработка перед осаждением для улучшения качества интерфейса Низкий уровень повреждений, равномерное осаждение Дистанционная плазменная ALD с контролируемой энергией ионов от почти нуля до 30 эВ ALD пассивация, диэлектрик затвора пленками Al2O3. ГЛОБАЛЬНАЯ ПОДДЕРЖКА КЛИЕНТОВ Компания Oxford Instruments стремится обеспечить всестороннюю, гибкую и надежную глобальную поддержку клиентов. Мы предлагаем отличное качество обслуживания на протяжении всего срока службы вашей системы. Программное обеспечение для удаленной диагностики обеспечивает быструю и простую диагностику и устранение неисправностей Контракты на поддержку доступны в соответствии с бюджетом и ситуацией Глобальные запасные части в стратегических местах для быстрого реагирования