Трехмерная микроэлектродная решетка:
Электроды TiN, изолятор SiN, контактные площадки и направляющие непрозрачные (TiN), с внутренним контрольным электродом, сеткой электродов 8x8, 60 электродов, расстояние между электродами 100 мкм, диаметр электродов 12 мкм, высота электродов 40 мкм, гарантия: 6 месяцев
---