Вапорайзер Turbo II™ 2852PE компании MSP предназначен для высокоточных микроэлектронных приложений, требующих низких и средних скоростей потока пара. Созданный на основе проверенных в эксплуатации, высоконадежных и не требующих особого обслуживания испарителей MSP Turbo™, новый испаритель 2852PE обеспечивает стабильную концентрацию паров, сохраняя при этом очень малые габариты. 2852PE также оснащен встроенным клапаном управления потоком для чрезвычайно быстрого реагирования на скорость потока.
Характеристики изделия
Размеры (ВхШхД) - 198 мм x 84 мм x 114 мм (7,8'' x 3,3'' x 4,5'')
Вес - 2,5 кг (5,6 фунта)
Фитинги (на устройстве) -
Входное отверстие для газа носителя - 1/4 дюйма. Разъемная гайка с внутренней резьбой VCR
Впуск жидкости - 1/8 дюйма. Внутренняя резьба VCR
Выход паров - 1/4 дюйма. Разъемная гайка с внутренней резьбой VCR
Сжатый воздух - 4 мм фитинг с трубкой
Смачиваемые детали - SS 316, PEEK, Elgiloy®, никель
Герметичность - ≤ 1x 10-8 Па-м3/с гелия
Требования к мощности нагревателя1 - 208 В переменного тока, 60 Гц, 450 Вт
Газ-носитель - рекомендуется инертный газ
Максимальный расход газа-носителя1 - 2,0 стандартных литра/мин N2 @ 50 psig
Максимальный расход жидкости2 - 7 г/мин (TEOS или эквивалент)
Предельное давление в системе - 150 фунтов на кв. дюйм
Сжатый воздух - от 90 до 110 фунтов на кв. дюйм
Диапазон температур3 - от 40°C до 180°C
Датчик температуры - 2 термопары типа Ƙ
Аксессуары - Кабель питания в комплекте (3 м). AMP CPC, 4-контактный разъем с 3 летучими проводами на противоположном конце
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
1 Максимальный расход носителя, мощность нагревателя (Вт) и напряжение сети регулируются на заводе-изготовителе, для получения дополнительной информации посетите сайт www.tsi.com/contact.
2 Максимальный расход жидкости зависит от процесса. Технические характеристики предполагают температуру испарителя 180°C, максимальный расход газа-носителя и давление <50 Торр непосредственно перед испарителем.
3 Требуется соответствующая вентиляция.
---