Испаритель MSP Turbo II™ Vaporizer 2855PE предназначен для высокоточных микроэлектронных приложений, требующих средней и высокой скорости потока пара. Созданный на основе проверенных в эксплуатации, высоконадежных и не требующих обслуживания испарителей MSP Turbo™, новый 2855PE обеспечивает вдвое большую производительность по пару при вдвое меньших размерах.
Подробная информация о продукте
Размеры (ВхШхД) - 236 мм x 84 мм x 142 мм (9,3'' x 3,3'' x 5,6'')
Вес - 5,2 кг (11,5 фунтов)
Фитинги (на блоке) -
Входное отверстие для газа носителя - 1/4 дюйма. Разъемная гайка с внутренней резьбой VCR
Впуск жидкости - 1/8 дюйма. Внутренняя резьба VCR
Выход паров - 1/4 дюйма. Гнездо VCR
Сжатый воздух - 4 мм фитинг с трубкой
Смачиваемые детали - SS 316, PEEK, Elgiloy®, никель, PCTFE
Герметичность - ≤ 1x 10-8 Па-м3/с гелия
Требования к мощности нагревателя1 - 208 В переменного тока, 60 Гц, 900 Вт
Газ-носитель - рекомендуется инертный газ
Максимальный расход газа-носителя1 - 10 стандартных литров/мин N2 @ 50 psig
Максимальный расход жидкости2 - 40 г/мин (TEOS или эквивалент)
Предельное давление в системе - 150 фунтов на кв. дюйм
Сжатый воздух - от 90 до 110 фунтов на кв. дюйм
Диапазон температур3 - от 40°C до 200°C
Датчик температуры - 2 термопары типа K
Принадлежности - Кабель питания в комплекте (3 м). AMP CPC, 4-контактный разъем с 3 летучими проводами на противоположном конце
Технические характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
1 Максимальный расход носителя, мощность нагревателя (Вт) и напряжение сети регулируются на заводе-изготовителе, для получения дополнительной информации посетите сайт www.tsi.com/contact.
2 Максимальный расход жидкости зависит от процесса. Технические характеристики предполагают температуру испарителя 200°C, максимальный расход газа-носителя и давление <50 Торр непосредственно перед испарителем.
3 Требуется соответствующая вентиляция.
---