■Флюид: газ N₂, воздух, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ и т.д.
■Макс.расход: 1 линия газа от 5SCCM до 10SLM / всего 100SLM
■Точность:±1%F.S.
Используется высокоэффективный контроллер массового расхода.
Режим настройки расхода смешанного газа / режим настройки соотношения смешанных газов.
Программирование работы с заданными условиями в пошаговом режиме.
Функция VNC-сервера для удаленного управления.
Запись рабочего состояния в журнале регистрации данных может быть извлечена через USB-порт устройства на задней панели.
Аварийное отключение, установка верхнего и нижнего пределов, суммарный расход, установка полномочий и т.д.
---