Датчик для измерения температуры AWM40000

расходадля газовмедицинской

Компенсированный или некомпенсированный. ±25,0 СКМ, 1,0 СЛ/МИН, 6,0 СЛ/МИН. Аналоговый выход. Работа Микромостовой датчик массового расхода воздуха работает на основе теории теплопередачи. Массовый поток воздуха направляется через поверхность чувствительных элементов. Выходное напряжение изменяется пропорционально массовому потоку воздуха или другого газа через входное и выходное отверстия корпуса. Специально разработанный корпус точно направляет и контролирует поток воздуха через чувствительный элемент микроструктуры. Механическая конструкция пакета позволяет легко монтировать его на печатные платы. Микромостовой датчик массового расхода воздуха имеет уникальный кремниевый чип, основанный на передовой микроструктурной технологии. Он состоит из тонкопленочной, термически изолированной мостовой структуры, содержащей нагревательные и температурные чувствительные элементы. Мостовая структура обеспечивает чувствительный и быстрый отклик на поток воздуха или другого газа над чипом. Двойные чувствительные элементы, расположенные по обе стороны от центрального нагревательного элемента, указывают направление потока, а также скорость потока. Лазерная обрезка толстопленочных и тонкопленочных резисторов обеспечивает их взаимозаменяемость при переходе от одного устройства к другому. В микромостовом датчике массового расхода воздуха используются термочувствительные резисторы, помещенные в тонкую пленку из нитрида кремния. Они подвешены в виде двух мостиков над вытравленной полостью в кремнии. Микросхема расположена в точно рассчитанном канале воздушного потока, что обеспечивает воспроизводимый отклик потока. Высокоэффективная тепловая изоляция нагревателя и чувствительных резисторов достигается путем травления полости под мостиками датчика расхода.