Микроскоп с фокусированным ионным пучком NX5000

оптическийоптическийTEM

FIB-SEM Hitachi Ethos - это FE-SEM последнего поколения с превосходной яркостью и стабильностью луча. Ethos обеспечивает получение изображений высокого разрешения при низких напряжениях в сочетании с ионной оптикой для прецизионной обработки наноразмеров. Основные характеристики 1. Высокопроизводительная колонка FE-SEM с режимом двойного объектива Наблюдение со сверхвысоким разрешением (режим HR: полулинзовый) Высокоточное определение конечных точек в реальном времени (режим FF: Field Free (режим разделения времени)) 2. Высокопроизводительная обработка материалов Сверхбыстрая обработка с высокой плотностью ионного тока (макс. ток пучка: 100 нА) Программируемый пользователем сценарий для автоматической обработки и наблюдения 3. Система отбора микропроб Полностью интегрированный контроль ориентации образца для обеспечения эффекта антизавихрения (технология ACE) Подготовка образцов для ТЭМ для получения однородных ламелей при любой ориентации 4. Возможность работы с тремя лучами, обеспечивающая высокое качество результатов Ионно-лучевая обработка материалов ионами благородных газов с низким ускорением Инновационные функции снижают количество артефактов, связанных с ионами Ga, и других артефактов фрезерования 5. Большая многопортовая камера и стадия для различных применений Система, способная работать с образцами большого размера, с исключительной устойчивостью статива Полный диапазон улучшенного слежения на больших расстояниях (155 x 155 мм) Усовершенствованная электронная оптика и многосигнальное детектирование Колонна РЭМ Ethos состоит из системы составных объективов с магнитным и электростатическим полем, сконфигурированных в двух режимах.