Системы контроля полупроводниковых пластин, которые не терпят даже очень крошечного загрязнения или дефекта, также применяют различные меры к оптическим системам.
Поскольку наш линейный двигатель достигает цели пролить свет только на определенные места, а структура затвора для фильтра диафрагмы предотвращает окружающий свет, наши линейные двигатели применяются в этом приложении.
Поскольку наш линейный двигатель с компактным дизайном позволяет установить несколько осей на небольшом пространстве, это сделало возможным фокусировку на размерах и фигурах в широком разнообразии. Кроме того, поскольку возможно высокоскоростное движение с помощью прямого привода, он подходит для линии производства полупроводников, требующей высокой пропускной способности.
---