RX2200 - это мембранный регулятор давления для применения в системах HP и UHP. Его беспружинная и безрезьбовая конструкция сохраняет высочайший уровень чистоты газа.
Ключевые преимущества
100% работоспособность и проверка на утечку гелия
Мембрана из хастеллоя®
Внутренняя пружина и отсутствие резьбы для самых высоких требований UHP
Сборка, тестирование и упаковка в чистом помещении: Класс ISO 4
Индивидуальный серийный номер для полной отслеживаемости
Возможна внутренняя опция, устойчивая к коррозии: Маковка из Hastelloy®
Электрополированная шероховатость поверхности в соответствии с SEMI F19 UHP Grade
Возможна опция нанесения покрытия на смачиваемые зоны
доступна опция двойного плавления нержавеющей стали 316L VAR® согласно SEMI F20
Материал седла для конкретных жидкостей в качестве стандартных опций
Дополнительные многопортовые опции
Технические характеристики
Макс. давление на входе 240 бар
Давление на выходе 3/8/10/15/25/50 бар
Температурный диапазон -20°C до +65°C
Пропускная способность (cv) 0,2
Давление разрыва* - 300% от рабочего давления
Пробное давление* - 150% от рабочего давления
Влияние давления подачи i* 1,35 бар / 100 бар
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия за бортом ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия через седло (при макс. давлении) - ≤ 1 x 10-7 мбар.л/с
Сертифицированная максимальная скорость утечки гелия внутрь (при макс. давлении) ≤ 1 x 10-9 мбар.л/с
---