Рентгенофлуоресцентный анализатор пластин 2830 ZT с дисперсией по длинам волн (WDXRF) предлагает широкие возможности для измерения толщины и состава пленок. Анализатор пластин 2830 ZT был разработан специально для отрасли производства полупроводниковых устройств и хранения данных. Этот анализатор обеспечивает определение состава слоев, толщины, содержания присадок и однородности поверхности для различных типов пластин с размерами до 300 мм.