Микроскоп с рентгеновским излучением GRAND ARM™2

TEMПРЭМдля лабораторий

Этот новый «GRAND ARM™2» позволяет проводить наблюдения со сверхвысоким пространственным разрешением с высокочувствительным анализом в широком диапазоне ускоряющих напряжений. Полюсный наконечник объектива FHP оптимизирован для наблюдений со сверхвысоким пространственным разрешением. При сохранении этой возможности форма полюсного наконечника была дополнительно оптимизирована для телесного угла рентгеновского излучения и угла взлета крупногабаритных двойных SDD (158 мм).2). В результате эффективная эффективность обнаружения рентгеновского излучения FHP2 более чем в два раза выше, чем у FHP. Он может обеспечить субангстремное разрешение в картах элементов EDS. Новый корпус Колонка TEM закрыта корпусом коробчатого типа, который может уменьшить влияние изменений окружающей среды, таких как температура, поток воздуха, акустический шум и т. д., а затем улучшает стабильность микроскопа. Корректор ETA и JEOL COSMO™ Быстрая и точная коррекция аберраций JEOL COSMO™ использует только 2 ронхиграммы, полученные из любой аморфной области, для измерения и исправления аберраций. Таким образом, система может обеспечить быструю и точную коррекцию аберраций без использования специальных образцов. Повышение устойчивости В новой CFEG (электронной пушке с холодной полевой эмиссией) используется SIP меньшего размера с большим объемом откачки, чем раньше для GRAND ARM™2. Увеличение откачиваемого объема СИП улучшает степень вакуума вблизи эмиттера внутри КФЭГ, а также улучшает стабильность эмиссионного и зондового токов. Миниатюризация SIP позволяет уменьшить общую массу CFEG примерно на 100 кг. Снижение веса CFEG повышает устойчивость микроскопа к вибрации.