Оптический спектрометр SXES

с рентгеновским излучениемПЗСнастольный

Мягкий рентгеновский эмиссионный спектрометр (SXES) представляет собой спектрометр сверхвысокого разрешения, состоящий из недавно разработанной дифракционной решетки и высокочувствительной рентгеновской ПЗС-камеры. Так же, как и в случае EDS, возможно параллельное детектирование и может быть выполнен анализ со сверхвысоким энергетическим разрешением 0.3 эВ (край Ферми, стандарт Al-L), превосходящий энергетическое разрешение WDS. Схема системы Новая конструкция оптической системы спектрометра позволяет одновременно измерять спектры с разными энергиями без перемещения дифракционной решетки или детектора (ПЗС). Благодаря высокому энергетическому разрешению можно выполнять картирование анализа химического состояния. Спектры нитрида титана различными методами спектрометрии Для нитрида титана пики N-Kα и Ti-Ll перекрываются. Даже с WDS требуется деконволюция формы сигнала с использованием математического метода. Как показано на рисунке ниже, SXES обеспечивает высокое энергетическое разрешение, что позволяет наблюдать TiLXNUMX. Пример анализа литий-ионной батареи (LIB) В приведенном ниже примере показаны карты больших площадей образцов LIB с разным состоянием заряда. SXES может отображать пик Li-K как в состоянии валентной зоны (слева), так и в основном состоянии (в центре). На карте распределения углерода (справа) также можно увидеть полностью разряженную функцию LIB. Измерения соединений углерода с помощью SXES Можно измерить разницу между алмазом, графитом и полимерами. Различия можно наблюдать по дополнительным пикам от π- и σ-связей. Поскольку при отображении берутся спектры каждого пикселя,