Высокопроизводительная фрезерная система оптимизирует электроды источника ионов и позволяет использовать более высокие ускоряющие напряжения, тем самым улучшая плотность тока ионного пучка.
Наш недавно разработанный ионный источник обеспечивает высокую скорость фрезерования поперечного сечения 1.2 мм/ч и более (в 2.4 раза больше, чем предыдущая скорость фрезерования).
Скорость фрезерования поперечного сечения нового источника ионов
Образец: кремниевая пластина
Ускоряющее напряжение: 10кВ
Время измельчения: 1 час
Фрезерование поперечного сечения легкоплавкого сплава (охлаждение)
Ускоряющее напряжение: 10 кВ
Время измельчения: 30 мин.
На правом изображении СЭМ показан сплав Sn-Bi с температурой плавления 150°C.
Металл с низкой температурой плавления может быть расплавлен из-за тепла обработки; поэтому перед фрезерованием требуется охлаждение металла.
Высокопроизводительное фрезерование применяется к термочувствительному образцу, в то время как образец остается охлажденным. * 3.
Затем за короткое время получают образец поперечного сечения с уменьшенным тепловым повреждением.
Новая высокопроизводительная фрезерная система позволила облучать ионным пучком большую площадь образца.
Плоское фрезерование поверхности эффективно для удаления царапин, образовавшихся на поверхности образца, или кристаллических деформаций, вызванных механической полировкой.
Фрезерование плоской поверхности бетона
Ускоряющее напряжение: 10 кВ
Время измельчения: 20 мин.
Фрезерование плоской поверхности большой площади применялось к бетону толщиной 20 мм.
После фрезерования царапины от полировки и загрязнения были удалены,