Фильтрующие картриджи Ф131 серии L13E со сверхвысокой пропускной способностью специально разработаны для применения при влажной обработке в производстве TFT-LCD, например, для очистки подложек, травления, зачистки и промывки водой DI. Фильтры доступны в различных материалах и с широким диапазоном номиналов удаления, имеют уникальную конструкцию и высокую площадь фильтрации, что приводит к снижению затрат на замену и эксплуатацию. Они обладают отличной совместимостью с различными технологическими жидкостями, способны обеспечить производительность 200 л/мин, необходимую для процесса G6-10.
Особенности и преимущества
● Поставляются из различных материалов и с различными показателями удаления
● Высокая площадь фильтрации и длительный срок службы
● Высокая скорость потока и низкий перепад давления
● Снижение эксплуатационных расходов на фильтрацию
Качество
● Картриджи производятся в контролируемой среде
● Изготовлены в соответствии с сертифицированной системой управления качеством ISO9001
---